氣體流量監測傳(chuan)感器

産品(pǐn)簡介：

FS4001系列 氣體流(liu)量監測傳感器 是專門爲各類(lèi)小流量氣體的測(ce)量和過程控制而(er)設㊙️計的🌈。這一系列(liè)傳感器均采用本(běn)公司自主研發的(de)微機電系統（ MEMS ）流量傳感芯片來(lái)制作。

FS4001系列 氣體流(liu)量監測傳感器 适用于各類清(qing)潔氣體。*的封裝技(jì)術使之可用于各(gè)🤩類管徑🐆，成本低、易(yi)安裝、不需要溫度(dù)壓力補償，可替代(dai)容🛀積式或壓差式(shì)的傳統流量傳感(gǎn)器。

産品(pǐn)特點：
  - 傳感器(qì)靈敏度高 , 有(yǒu)極小的始動流量(liàng)
  - 傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liàng)計量 , 無需溫(wēn)度壓力補償 , 保證了傳
  - 感(gan)器的高精度計量(liàng)
  - 在單個芯片(pian)上實現了多傳感(gǎn)器集成 , 使傳(chuan)感器的量程比大(da)大提高
  - 傳感(gan)器的零點穩定度(du)高
  - 全量程高(gāo)穩定性
  - 全量(liàng)程高精确度和優(yōu)良的重複性
  - 低功耗
  - 低壓(yā)損
  - 響應時間(jian)快

機械尺寸(cùn)：

主要參(cān)數：

性能參數	FS4001		單位(wèi)
通 徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	>100：1
精 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀(dú)數
零點輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出(chū)方式	線性，RS232/模拟電(dian)壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力	0.5		MPa
工作溫(wēn)度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作(zuo)濕度	<95%RH（無結冰、無凝(ning)露）
機械接口	可拆(chāi)式軟管接頭
校準(zhun)方式	空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g