
産品時間(jian):2025-12-01
FS4000微(wēi)型空氣流量(liang)傳感器是采(cǎi)用微機電系(xì)統(MEMS)流量傳感(gǎn)器技術和智(zhì)能電子控制(zhì)技術,專爲普(pu)通氣體流量(liang)監測開發的(de)産品🌂。該傳感(gǎn)器能直接測(ce)量氣體質量(liàng)流量,低壓損(sun)。适用于淨化(huà)空氣或氮氣(qì)流量監控,還(hái)可用于環境(jing)采樣器(如色(se)譜分析儀器(qi)等)
FS4003流量(liàng)傳感器,管道(dào)内徑爲3mm,成本(ben)低測量範圍(wéi)大到5SLPM;适用于(yu)粒🛀子🚶計數器(qì)和各類分析(xī)儀器。
FS4000微型(xing)空氣流量傳(chuan)感器産品特(te)點:
- 專爲管徑(jìng)3mm和8mm的氣管中(zhōng)的低壓氣體(tǐ)流量測量而(ér)設計
- 在單個芯片(pian)上實現了多(duō)傳感器集成(chéng),使其量程比(bi)達到了100:1甚至(zhi)更高
- 輸出方(fāng)式靈活,既可(kě)通過通訊接(jie)口主動上傳(chuán)數據或由上(shang)位🔅機查詢輸(shū)出數據,也可(kě)通過模拟接(jie)口輸出線性(xìng)的模拟電壓(yā)
- 零點穩定度(du)高
- 響應速度快(kuài)
FS4000微型空氣流(liu)量傳感器

性能(néng)參數 | FS4003 | 單位 | |
通(tōng)徑 | 8 | mm | |
SLPM | |||
量(liang)程比 | 100:1 | ||
精(jing)度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重複性 | 0.5 | ||
零(líng)點輸出飄移(yi) | |||
0.12 | oC | ||
響(xiǎng)應時間 | 100、200、500、1000可(ke)設置) | ms | |
工作電(dian)源 | Vdc, | ||
輸出方式 | |||
大流量壓損(sun) | pa | ||
-10 ~ +55 | oC | ||
存(cun)儲溫度 | oC | ||
工作(zuo)濕度 | <95%RH(無結冰(bīng)、無凝露) | ||
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接(jie)頭 | |||
空氣(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa | |||
重量 | |||