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fs4001小流量(liàng)氣體質量(liang)流量傳感(gan)器
産品時(shí)間：2025-12-01
簡要描(miao)述：
siargo ltd fs4001小流量(liang)氣體質量(liàng)流量傳感(gǎn)器是專門(mén)爲各類小(xiǎo)流量氣❓體(ti)的測量和(he)過程控制(zhi)而設計的(de)。這一系列(lie)傳感器均(jun1)采用本公(gōng)司☁️自主研(yán)發的微機(jī)電系統（MEMS）流(liú)量傳感芯(xin)☎️片來制作(zuo)，适用于各(gè)類清潔氣(qi)體。*的封裝(zhuāng)技術使之(zhi)可用于各(gè)類管徑，成(chéng)本低、易安(ān)裝、不需要(yao)溫🔞度壓力(li)補償，可替(ti)代容積🧑🏾🤝🧑🏼式(shi)或壓差式(shì)的傳統流(liu)量😘傳感器(qì)。
氣體(tǐ)流量計, 深圳 轉(zhuan)子流量計(ji), 廣東(dōng) 實驗室氣(qi)體流量計(ji) 數顯氣體(tǐ)質量流量(liang)計 濕式氣體(ti)流量計 超(chao)聲波氣體(ti)流量計
fs4001小流量(liàng)氣體質量(liàng)流量傳感(gan)器
産品特(te)點
：
傳(chuán)感器靈敏(mǐn)度高,有極(ji)小的始動(dong)流量傳感(gǎn)器芯片采(cai)用熱質量(liang)流量計量(liàng),無需溫度(dù)壓力補償(cháng),保證了傳(chuán)感器的高(gao)精✊度計量(liàng)在單個芯(xīn)片上實現(xiàn)了多傳感(gǎn)器集成,使(shi)傳感器的(de)量程比大(dà)大提高傳(chuán)感器的零(ling)點穩定度(dù)高全量💔程(chéng)高穩定性(xìng)全量程高(gāo)精确度和(hé)優良的重(zhòng)複性低功(gōng)耗低壓損(sun)響應時間(jian)快.
主(zhǔ)要參數：
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性(xìng)能參數 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大(dà)流量 |
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500, 1000 |
SCCM |
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量程(chéng)比 |
≥100:1 |
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% |
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重(zhòng)複性 |
0.25 |
%讀數(shù) |
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±30 |
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輸出(chu)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應(ying)時間 |
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mses |
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工作(zuo)電源 |
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大流量壓(yā)損 |
350 |
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大工作(zuo)壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuo)溫度 |
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oC |
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工作(zuo)濕度 |
<95%RH（無結(jié)冰、無凝露(lu)） |
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機械接口(kǒu) |
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校(xiào)準方式 |
空(kong)氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
g |
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機械尺寸(cùn)：
