微小(xiao)氣體流(liu)量計,MF4001氣(qi)體流量(liang)計
産品(pǐn)時間：2026-01-04
簡(jiǎn)要描述(shu)：
微小氣(qi)體流量(liàng)計,MF4001氣體(tǐ)流量計(ji)是廣州(zhōu)迪川儀(yi)器儀🈲表(biao)有限公(gōng)司專門(mén)爲各類(lèi)小流量(liang)氣體的(de)測量和(hé)過程控(kòng)制而設(she)計的。這(zhè)一系列(lie)傳感器(qi)均采用(yòng)本公司(si)自主研(yán)發的微(wēi)機電系(xì)統（MEMS）流量(liang)傳感芯(xin)片來制(zhi)作，适用(yong)于各類(lèi)清潔氣(qi)體。*的封(feng)裝技術(shu)使之可(ke)用于各(ge)類☔管徑(jìng)，成本低(dī)、易安裝(zhuāng)、不需要(yao)溫度壓(ya)力補償(cháng)，可替代(dai)🆚容積式(shì)或壓差(cha)式的傳(chuan)統流量(liang)傳感器(qì)。
微小氣(qi)體流量(liàng)計,MF4001氣體(tǐ)流量計(jì)
産(chan)品簡介(jie)：
FS4001系(xi)列小流(liu)量氣體(tǐ)質量流(liu)量傳感(gan)器是廣(guǎng)州迪川(chuan)儀器儀(yí)表有限(xiàn)公司專(zhuan)門爲各(gè)類小流(liu)量氣體(ti)的測量(liàng)和過程(chéng)控制而(er)設計的(de)。這一系(xì)列傳感(gǎn)器均采(cai)用本❌公(gong)司自主(zhǔ)研發✔️的(de)微機電(diàn)系統（
MEMS）流量(liang)傳感芯(xin)片來制(zhì)作，适用(yong)于各類(lei)清潔氣(qi)體。*的封(feng)裝技術(shu)使之可(ke)用于各(gè)類管徑(jìng)，成本低(di)、易安裝(zhuāng)、不需🏃要(yào)溫🏃度壓(ya)力補🐉償(cháng)，可替代(dài)容積式(shì)或壓差(chà)式的傳(chuan)統❓流量(liàng)傳感器(qì)。
微小氣(qì)體流量(liàng)計,MF4001氣體(ti)流量計(jì)
- 傳(chuan)感器靈(ling)敏度高(gāo)
,有(you)極小的(de)始動流(liu)量
- 傳感器(qì)芯片采(cǎi)用熱質(zhì)量流量(liang)計量
,無需(xu)溫度壓(yā)力補償(cháng)
,保(bao)證了傳(chuan)
- 感(gan)器的高(gāo)精度計(ji)量
- 在單個(ge)芯片上(shàng)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(cheng)
,
- 傳感(gan)器的零(líng)點穩定(dìng)度高
- 全量(liàng)程高穩(wen)定性
-
- 低(dī)功耗
- 低壓(yā)損
- 響應時(shi)間快
主要(yao)參數：
|
性能(néng)參數 |
|||
|
通(tong) 徑(jing) |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
zui大(da)流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程(chéng)比 |
2132132132131231312100:1 |
||
|
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
|
0.25 |
%讀(du)數 |
||
|
零點輸(shu)出飄移(yí) |
±30 |
||
|
輸(shu)出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
|
|
|
mses |
||
|
工(gōng)作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
|
|
|
輸(shū)出方式(shì) |
線(xian)性， RS232/模拟電(dian)壓 0.5~4.5Vdc |
|
|
|
zui大流量(liang)壓損 |
350 |
300 |
pa |
|
zui大工(gōng)作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
|
|
工(gōng)作溫度(du) |
-10 ~ +55 |
oC |
|
|
-20 ~ +65 |
oC |
||
|
工(gōng)作濕度(du) |
<95%RH（無(wu)結冰、無(wú)凝露） |
|
|
|
機械(xie)接口 |
可拆(chai)式軟管(guan)接頭 |
|
|
|
校準(zhun)方式 |
|
||
|
重量 |
g |
||
