産品時間：2025-12-01
FS4001系列測(ce)量氣體流量傳(chuán)感器是專門爲(wei)各類小流量氣(qì)體的測🥵量和過(guo)程控制而設計(ji)的。這一系列傳(chuan)感器均采用本(běn)公司自主研🔱發(fa)的微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感芯片(pian)來制作，适用于(yú)各類清潔氣體(ti)。
簡介：
FS4001系列測量(liàng)氣體流量傳感(gan)器 MEMS
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傳感器靈敏(mǐn)度高
,
-
,
無需溫度壓力(li)補償
,
保證(zheng)了傳
感器(qi)的高精度計量(liàng)
在單個芯(xīn)片上實現了多(duo)傳感器集成
,
使傳感器的(de)量程比大大提(tí)高
傳感器(qi)的零點穩定度(du)高
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全量程(cheng)高穩定性
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全量程高精确(què)度和優良的重(zhòng)複性
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低功(gong)耗
-
低壓損(sun)
響應時間(jian)快
主要參(cān)數：
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性能參數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
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通 徑 |
1.0 |
mm |
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500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100：1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
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重(zhong)複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點(dian)輸出飄移 |
±30 |
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輸出(chū)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chu)方式 |
線性，RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(yā)損 |
350 |
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pa |
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大工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chǔ)溫度 |
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工作濕度(du) |
<95%RH（無結冰、無凝露(lu)） |
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機械接口 |
可拆(chai)式軟管接頭 |
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校(xiao)準方式 |
空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
g |
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