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氣體檢測/測(cè)漏流量計

簡要(yao)描述：

氣體檢(jian)測/測漏流量(liàng)計傳感器靈(líng)敏度高,有極(jí)小的始動流(liú)量
- 傳感器芯(xin)片采用熱質(zhì)量流量計量(liàng),無需溫度壓(yā)力補償,保證(zheng)了傳
- 感器的(de)高精度計量(liang)
- 在單個芯片(piàn)上實現了多(duo)傳感器集成(chéng),使傳感器的(de)量程比👅大大(da)提高
- 傳感器(qì)的零點穩定(ding)度高全量程(chéng)高穩定性

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詳細介(jiè)紹

氣體檢測(ce)/測漏流量計(jì)

産品簡介：
FS4001系(xi)列小流量氣(qì)體質量流量(liàng)傳感器是專(zhuan)門爲各類小(xiǎo)流量氣體的(de)測量和過程(chéng)控制而設計(jì)的。這一系列(lie)傳感器均采(cǎi)用本公司自(zi)主研發的微(wēi)機電系統（MEMS）流(liú)量傳感芯片(pian)來制作🚶，适用(yòng)于各類清🔴潔(jié)氣體。*的封裝(zhuāng)技術使💁之可(kě)用于各類管(guan)徑，成本低、易(yi)安裝、不需要(yào)溫度壓力補(bǔ)償，可替代🔞容(rong)積式或壓☀️差(chà)式的傳統流(liu)量傳感器。

氣(qì)體檢測/測漏(lòu)流量計産品(pin)特點：
- 傳感器(qì)靈敏度高,有(you)極小的始動(dòng)流量
- 傳感器(qì)芯片采用熱(rè)質量流量計(jì)量,無需溫度(du)壓力補償,保(bǎo)證了傳
- 感器(qì)的高精度計(jì)量
- 在單個芯(xīn)片上實現了(le)多傳感器集(jí)成,使傳感器(qi)的☁️量程比大(da)大提高
- 傳感(gan)器的零點穩(wěn)定度高
- 全量(liang)程高穩定性(xing)
- 全量程高精(jīng)确度和優良(liang)的重複性
- 低(di)功耗
- 低壓損(sun)
- 響應時間快(kuài)

主要參數：

性(xìng)能參數	FS4001		單位(wèi)
通徑	1.0	1.8	mm
zui大流量(liàng)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	2132132132131231312100:1
精度(dù)	±（1.5+0.2FS）		%
重複性	0.25		%讀數(shù)
零點輸出飄(piao)移	±30		mV
輸出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工(gong)作電源	8~18Vdc,50mA
輸出(chu)方式	線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc
zui大流(liu)量壓損	350	300	pa
zui大工(gōng)作壓力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫(wēn)度	-20 ~ +65		oC
工作濕度(dù)	<95%RH（無結冰、無凝(ning)露）
機械接口(kǒu)	可拆式軟管(guǎn)接頭
校準方(fāng)式	空氣（或其(qi)他氣體），20oC，101.325kPa
重量(liang)	15		g